流量(liang)測量技(jì)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(tǐ)制造業(yè)、生物工(gong)程、精細(xì)化工等(deng)的興起(qǐ)，使流量(liang)🈲測量向(xiang)低端延(yan)伸，小流(liú)量計流(liú)量的要(yào)求在上(shang)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來(lái)。何謂小(xiao)流量 ? 業界(jie)尚無*的(de)定義和(he)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(lǐng)域而異(yì)是一個(gè)模🐪糊的(de)概念。管(guǎn)道小流(liu)量測量(liang)體現于(yu)管徑小(xiao)和🈲流速(su)低兩個(ge)層㊙️次，就(jiu)🌈流程工(gong)業而言(yan)，習慣上(shang) DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liang)測量稱(cheng)之小流(liú)量測量(liang)，通常其(qí)流量值(zhí)液體爲(wei)🌈 1L/min 或(huo) 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量(liàng)儀表滿(man)度流量(liang)時的流(liú)速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測量(liàng)方法
傳統(tǒng)小流量(liang)測量技(ji)術節流(liu)差壓 ( 層流(liú) ) 法(fǎ)、浮子法(fǎ)和容積(jī)法等有(you)了的改(gai)進，新測(ce)量技術(shù)如超聲(shēng)❗法、熱㊙️法(fǎ)、科裏奧(ào)利法等(deng)也有成(chéng)效地應(ying)于液體(tǐ)和氣體(tǐ)小流量(liang)測量。
2 、特點(diǎn)
微(wēi)小流量(liang)與一般(ban)流量測(ce)量相比(bi)較，具有(yǒu)以下特(tè)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guan)道流動(dong)均爲紊(wen)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shi)針對💃紊(wen)流🤩流動(dong)🔞态🛀設計(ji)的，而小(xiao)流量儀(yi)表因管(guan)徑小常(cháng)處于層(ceng)流流動(dong) ( 例(lì)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wen)流過渡(dù)區流态(tài)流動，小(xiǎo)流量測(cè)量受使(shǐ)用中流(liú)體✉️黏度(du)變化影(yǐng)響頗大(da)。
2) 要(yao)用實際(ji)使用流(liú)體校準(zhǔn)
液(ye)體流量(liàng)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qi)體用空(kong)氣校準(zhun)。若知♈道(dao)🏃‍♂️實👅際💋測(ce)⚽量流體(tǐ)與校準(zhǔn)流體間(jiān)某些物(wù)性不同(tong)對示值(zhí)有規律(lǜ)變化時(shi)，中大管(guǎn)徑流量(liang)儀表常(cháng)以适當(dāng)系數修(xiu)正。但㊙️有(yǒu)些小流(liú)量儀表(biao)受黏度(du)等流體(tǐ)物⭐性影(yǐng)響大✔️，須(xū)以實際(jì)使用流(liu)體校準(zhun)。所幸🌈流(liu)量小，用(yòng)實際使(shi)用流⁉️體(tǐ)校準難(nán)度不大(da)，但在作(zuò)有害性(xing)流體校(xiào)準時應(ying)注意安(ān)全和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liàng)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liàng)潔淨氣(qì)體和純(chún)水常不(bu)允許接(jie)觸流體(tǐ)的儀表(biao)零件材(cái)料析出(chū)離子，例(li)如半導(dǎo)體制備(bei)中儀表(biǎo)不能用(yòng)金屬和(he)玻璃制(zhi)成，隻能(néng)用塑料(liao)。流體中(zhong)也不允(yun)許混入(rù)活動件(jian)的磨蝕(shí)🧑🏾‍🤝‍🧑🏼塵粒。流(liú)量儀表(biao)☁️流通通(tong)道要盡(jin)可能簡(jiǎn)單，不應(ying)有潴留(liú) ( 指(zhǐ)液體在(zai)體内不(bu)正常地(dì)聚集停(ting)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liu)介質變(biàn)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fù)着的影(yǐng)響
因管徑(jìng)小黏性(xing)增加，液(ye)體中微(wei)細氣泡(pào)易在管(guan)系流動(dong)🙇‍♀️過程中(zhōng)積📐聚變(bian)大，使測(cè)量時指(zhi)示不穩(wěn)，度下降(jiang)。流🐆體中(zhong)塵埃附(fu)着✌️測量(liàng)元件也(ye)要影響(xiang)測量值(zhi)，例如浮(fú)子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chén)積有肉(ròu)😘眼覺察(chá)不出的(de)附着㊙️層(ceng)也會影(ying)響示值(zhi)。
5) 流(liu)量儀表(biao)品種使(shǐ)用上受(shou)到一定(dìng)限制
在衆(zhong)多測量(liàng)原理流(liu)量儀表(biǎo)中，因各(gè)種原因(yīn)小流量(liang)應📐用受(shòu)到🐅一些(xie)限制，當(dāng)前能應(ying)用于小(xiao)流量的(de)品種如(ru)表格所(suǒ)示