流量(liang)測量技(ji)術之 微小(xiǎo)流量 的測(cè)量     
半導體(ti)制造業(ye)、生物工(gong)程、精細(xì)化工等(děng)的興起(qǐ)，使流量(liang)測🐇量向(xiang)低端延(yán)伸，小流(liú)量計流(liú)量的要(yao)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jie)尚無*的(de)定義和(he)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(lǐng)域而異(yì)是一個(ge)模糊的(de)概念。管(guan)道小流(liu)量測量(liàng)體現于(yu)管徑小(xiǎo)和流速(sù)低兩個(gè)層次，就(jiu)流程工(gong)業而言(yán)，習慣上(shang) DN10 甚(shen)至 DN15 以下管(guǎn)徑流量(liang)測量稱(chēng)之小流(liú)量測量(liang)，通常其(qí)流量🏃‍♀️值(zhi)液體爲(wei) 1L/min 或(huo) 0.06m3/h 以(yi)下，流量(liàng)儀表滿(mǎn)度流量(liang)時的流(liú)速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測量(liàng)方法
傳統(tǒng)小流量(liang)測量技(jì)術節流(liú)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fa)、浮子法(fa)和容積(jī)法等有(you)了的改(gai)進，新測(ce)量技術(shù)如🌍超🤟聲(shēng)法、熱🏃🏻法(fǎ)🐪、科裏奧(ao)利法等(deng)也有成(cheng)效地應(yīng)于液體(ti)和氣體(tǐ)小💔流量(liang)測量‼️。
2 、特點(diǎn)
微(wei)小流量(liàng)與一般(ban)流量測(ce)量相比(bǐ)較，具有(yǒu)以下特(te)點🈲。
1) 雷諾數(shù)低
一般管(guan)道流動(dong)均爲紊(wen)流流動(dong)，流量儀(yi)表也是(shi)針對㊙️紊(wen)♻️流💰流⛷️動(dòng)态設計(jì)的，而小(xiao)流量儀(yi)表因管(guǎn)徑小常(chang)處于層(céng)流流動(dong) ( 例(lì)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wen)流過渡(dù)區流态(tài)流動，小(xiao)流量測(ce)量受使(shi)用中流(liu)體黏度(dù)變化影(ying)響頗大(dà)。
2) 要(yao)用實際(jì)使用流(liu)體校準(zhun)
液(ye)體流量(liàng)儀表一(yī)般用水(shui)校準，氣(qi)體用空(kōng)氣校準(zhun)。若🔆知㊙️道(dao)實際測(ce)量流體(tǐ)與校準(zhǔn)流體間(jian)某些物(wu)性不同(tóng)對示值(zhi)有規律(lǜ)變化時(shi)，中📞大管(guǎn)徑流量(liàng)儀表常(cháng)以适當(dang)系數📧修(xiū)正。但有(you)些小👄流(liu)量儀表(biǎo)受黏度(du)等流體(tǐ)物🚶性影(ying)響大，須(xu)以實際(ji)使用流(liu)體校準(zhun)。所幸流(liu)量小，用(yong)實際使(shǐ)用流體(tǐ)校準難(nán)度不大(dà)，但在作(zuo)有害性(xing)流體❗校(xiao)準時應(yīng)注意🍓安(ān)全和環(huán)境污👣染(rǎn)。
3) 要(yao)求測量(liàng)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liàng)潔淨氣(qì)體和純(chun)水常不(bu)允許接(jiē)觸流體(tǐ)的儀表(biǎo)零件💋材(cai)料析出(chū)離子，例(li)如半導(dao)體制備(bèi)中儀表(biǎo)不能用(yong)金屬和(he)玻璃制(zhì)成，隻能(neng)用塑料(liao)。流體中(zhong)也不允(yun)♊許混入(ru)活動件(jian)的磨蝕(shí)塵粒。流(liu)量儀表(biǎo)流通通(tōng)道要盡(jin)可能簡(jian)單，不應(yīng)有♻️潴留(liú) ( 指(zhǐ)液體在(zai)體内不(bú)正常地(dì)聚集停(ting)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liú)介質變(bian)質。
4) 氣泡和(he)塵埃附(fù)着的影(yǐng)響
因管徑(jìng)小黏性(xing)增加，液(ye)體中微(wēi)細氣泡(pào)易在管(guan)系流🌍動(dong)過🤟程中(zhong)積聚變(bian)大，使測(cè)量時指(zhǐ)示不穩(wen)，度下降(jiàng)。流體中(zhong)塵埃附(fu)着測量(liang)元件也(yě)要影響(xiang)測量值(zhi)，例如浮(fú)子流量(liang)計的浮(fu)子上沉(chen)積有肉(ròu)眼覺察(cha)不出的(de)附着層(ceng)也會影(ying)響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biao)品種使(shi)用上受(shòu)到一定(ding)限制
在衆(zhōng)多測量(liang)原理流(liú)量儀表(biǎo)中，因各(gè)種原因(yin)小流量(liàng)應🌍用受(shou)🏃到一些(xiē)限制，當(dāng)前能應(yīng)用于小(xiǎo)流量的(de)品種如(ru)表格所(suǒ)示