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FS4001系列(lie)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器

産品(pin)時間:2025-12-01

簡要描述:

FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shi)專門爲各類小流(liu)量氣🌈體的測量和(hé)過程控制而設計(jì)的。這一系列傳👉感(gan)器均采用本✂️公司(si)自主研發的微機(ji)電系統(MEMS)流量傳感(gǎn)芯片來制作,适用(yong)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jing),成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式(shì)或壓💯差式的傳統(tong)流量傳感器。

FS4001系列小流量氣體(tǐ)質量流量傳感器(qì) 是專門爲各類小(xiao)流量氣體的測量(liang)和過程控制而設(she)🐕計的。這一系列傳(chuan)感器均采用本公(gōng)司自主研發📧的微(wēi)機電系統(MEMS)流量傳(chuán)感芯片來制作,适(shì)用于各類清潔氣(qì)體。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各⚽類管(guǎn)徑,成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓力(li)補償,可替代⁉️容積(jī)式或♻️壓差式的傳(chuán)統流量傳感器。

産(chǎn)品特點

FS4001系列(lie)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器 靈敏(min)度高,有小的始動(dòng)流量傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)計量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳(chuán)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qì)集成,使傳感✨器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器的零點穩(wen)定✊度高全量程高(gāo)穩定性全量程☔高(gāo)精确度和優良的(de)重複性低功耗低(di)壓損響應時間快(kuai)
主要參數:

性能參(cān)數

FS4001

單位

通 徑

1.0

1.8

mm

大流(liú)量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程比

≥100:1

 

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重(zhòng)複性

0.25

%讀數

輸出飄移(yi)

±0.12

%/oC

響應時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

工作電(dian)源

8~18Vdc,50mA

 

大流量(liang)壓損

350

300

大工作壓力(lì)

MPa

-10 ~ +55

oC

存儲溫(wēn)度

-20 ~ +65

工作濕度

<95%RH(無結(jie)冰、無凝露)

 

機械接(jiē)口

可拆式軟管接(jiē)頭

 

重量(liàng)

15

g

機械尺寸:

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