産品(pin)時間:2025-12-01
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shi)專門爲各類小流(liu)量氣🌈體的測量和(hé)過程控制而設計(jì)的。這一系列傳👉感(gan)器均采用本✂️公司(si)自主研發的微機(ji)電系統(MEMS)流量傳感(gǎn)芯片來制作,适用(yong)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jing),成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式(shì)或壓💯差式的傳統(tong)流量傳感器。
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FS4001系列(lie)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器
靈敏(min)度高,有小的始動(dòng)流量傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)計量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳(chuán)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qì)集成,使傳感✨器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器的零點穩(wen)定✊度高全量程高(gāo)穩定性全量程☔高(gāo)精确度和優良的(de)重複性低功耗低(di)壓損響應時間快(kuai)
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性能參(cān)數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
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mm |
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大流(liú)量 |
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500, 1000 |
SCCM |
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≥100:1 |
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精 度 |
% |
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%讀數 |
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零點輸(shu)出飄移 |
±30 |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
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響應時間 |
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8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性(xìng),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量(liang)壓損 |
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300 |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫(wēn)度 |
-20 ~ +65 |
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工作濕度 |
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機械接(jiē)口 |
可拆式軟管接(jiē)頭 |
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空氣(qi)(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liàng) |
15 |
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86-020-31199948/85550363