FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器-廣州迪川儀器儀表有限公司
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FS4001系(xi)列小流(liú)量氣體(ti)質量流(liú)量傳感(gǎn)器

産品(pǐn)時間:2025-12-18

簡(jian)要描述(shu):

FS4001系列小(xiao)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wei)各類🈚小(xiǎo)✂️流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(ben)📱公司自(zì)主研發(fa)的微機(jī)電系統(tong)(MEMS)流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuò),适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yong)于各類(lei)管徑💔,成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(li)👌補償,可(ke)替代容(rong)積式或(huò)壓㊙️差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。

産(chǎn)品簡介(jiè):

FS4001系列小(xiao)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuan)感器 是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qi)體的測(cè)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)🐕系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)🈲(MEMS)流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò),适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可♋用(yong)于各類(lei)管徑,成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償,可(ke)替代容(róng)積式或(huo)✊壓差式(shi)的傳統(tong)流量傳(chuan)感器。

産(chǎn)品特點(dian)

FS4001系(xì)列小流(liú)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gǎn)器 靈敏(min)度高,有(you)小的始(shǐ)動流量(liang)傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhì)🈚量流量(liang)計量,無(wu)需溫度(du)壓力補(bu)償,保證(zheng)了傳感(gan)器的高(gao)精度計(ji)量在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(ji)成,使傳(chuan)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(tí)高傳感(gǎn)器的零(líng)點穩定(dìng)度高全(quan)量程高(gao)穩定性(xing)全量程(chéng)高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性低(dī)功耗低(dī)壓損響(xiǎng)💁應時間(jian)快
主要(yào)參數:

性(xing)能參數(shù)

FS4001

單位

通(tōng) 徑

1.0

1.8

mm

大流(liú)量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程(chéng)比

≥100:1

 

精 度(du)

±(1.5+0.2FS)

%

重複性(xing)

0.25

%讀數

零(ling)點輸出(chū)飄移

±30

mV

輸(shū)出飄移(yí)

%/oC

響應時(shi)間

mses

工作(zuo)電源

8~18Vdc,50mA

 

線性,RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc

 

大流量(liàng)壓損

350

pa

大(da)工作壓(yā)力

MPa

存(cún)儲溫度(du)

-20 ~ +65

oC

工作濕(shī)度

<95%RH(無結(jie)冰、無凝(ning)露)

 

機械(xiè)接口

可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou)

 

空氣(qi)(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa

 

重(zhong)量

15

g

機械(xie)尺寸:

留(liú)言框

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