産品時(shi)間：2025-12-15
FS4001系列測量氣(qì)體流量傳感(gan)器是專門爲(wèi)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhi)而設計的。這(zhè)一系列傳感(gan)器均采用📧本(ben)公🙇🏻司自主研(yán)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuan)感芯片👅來制(zhi)作🔴，适用于各(gè)類清潔氣體(ti)。
簡介：
FS4001系(xi)列測量氣體(tǐ)流量傳感器(qi) 是專門(mén)爲各類小流(liú)量氣體的測(ce)量和過程控(kòng)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yong)本公司自主(zhu)研發的微機(ji)電系統🌍（ MEMS ）流量傳感芯(xīn)片來制作。
FS4001系(xì)列測量氣體(tǐ)流量傳感器(qi)
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傳感(gan)器靈敏度高(gao)
,
有極小(xiao)的始動流量(liàng)
,
,
保證(zheng)了傳
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感(gan)器的高精度(dù)計量
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在(zai)單個芯片上(shàng)實現了多傳(chuan)感器集成
,
使傳感器(qi)的量程比大(dà)大提高
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傳感器的零(líng)點穩定度高(gao)
全量程(chéng)高穩定性
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低功耗(hao)
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低壓損(sǔn)
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響應時(shi)間快
主(zhu)要參數：
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FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
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量(liàng)程比 |
>100：1 |
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% |
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0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出飄移(yi) |
±30 |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fang)式 |
線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
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大工作(zuò)壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫(wen)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無(wú)結冰、無凝露(lu)） |
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機械接口 |
可(kě)拆式軟管接(jiē)頭 |
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校準方式(shi) |
空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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15 |
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