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微小氣體流(liu)量計,MF4001氣體流量(liang)計

産品時間：2025-12-15

簡(jiǎn)要描述：

微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是廣州(zhōu)迪川儀器儀表(biao)有限公司專門(mén)爲各類小流量(liang)氣體的測量和(he)過程控制而設(she)計的。這一系列(liè)傳感器均采用(yòng)本公司自主研(yán)🛀🏻發的微機電系(xi)統（MEMS）流量傳感芯(xīn)🔞片來制作，适用(yong)于各類清潔氣(qì)體。*的封裝技術(shù)使之可用于各(gè)類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需🈲要(yao)溫度壓力補償(cháng)，可替代容積式(shi)或壓㊙️差式的傳(chuan)統流量🛀傳感器(qi)。

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詳細介紹(shao)

微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計(jì)

産品簡介(jie)：
FS4001系列小流(liu)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guang)州迪川儀器儀(yi)表有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liu)量氣體的測量(liàng)和過程控制而(er)設計的。這一系(xì)列傳感器均采(cǎi)用本💰公司自主(zhǔ)研發的微機電(diàn)系統（ MEMS）流量(liang)傳感芯片來制(zhi)作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)✍️裝技術使之可(kě)用于各類管徑(jìng)，成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓(yā)力補償，可🌈替代(dai)容積式或壓差(cha)式的傳統🛀流量(liang)傳感器。
産(chǎn)品特點：微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- 傳(chuán)感器靈敏度高(gao) ,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量 ,無需(xū)溫度壓力補償(cháng) ,保證了傳(chuán)
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gǎn)器集成 ,使(shǐ)傳感器的量程(cheng)比大大提高
- 傳感器的零(líng)點穩定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量(liang)程高精确度和(hé)優良的重複性(xing)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：

性能參數	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
zui大(dà)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	350	300	pa
zui大工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(dù)	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械(xie)接口	可拆(chāi)式軟管接頭
校準方式	空氣（或其他(ta)氣體）， 20oC， 101.325kPa
重量	15		g