FS4001系列實(shí)驗室氣體(ti)流量傳感(gǎn)器

産品簡(jiǎn)介：

FS4001系列實(shi)驗室氣體(ti)流量傳感(gan)器 是(shì)專門爲各(gè)類小流量(liang)氣體的測(ce)量和過程(cheng)控制而設(shè)計的。這☔一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yong)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xì)統👌（ MEMS ）流(liú)量傳感芯(xīn)片來制作(zuò)。

FS4001系列實驗(yan)室氣體流(liu)量傳感器(qi) 适用(yong)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑，成本㊙️低(dī)、易安裝、不(bu)需要溫度(du)壓力補償(cháng)，可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuán)統流量傳(chuan)感器。

産品(pin)特點：
  - 傳感器靈(líng)敏度高 , 有極小(xiǎo)的始動流(liú)量
  - 傳(chuan)感器芯片(pian)采用熱質(zhì)量流量計(ji)量 , 無(wu)需溫度壓(yā)力補償 , 保證了(le)傳
  - 感(gan)器的高精(jing)度計量
  - 在單個(ge)芯片上實(shi)現了多傳(chuán)感器集成(chéng) , 使傳(chuan)感器的量(liàng)程比大大(dà)提高
  - 傳感器的(de)零點穩定(dìng)度高
  - 全量程高(gāo)穩定性
  - 全量程(chéng)高精确度(dù)和優良的(de)重複性
  - 低功耗(hao)
  - 低壓(yā)損
  - 響(xiǎng)應時間快(kuai)

機械(xiè)尺寸：

主要(yào)參數：

性能(neng)參數	FS4001		單位(wèi)
通 徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比(bǐ)	>100：1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複(fu)性	0.25		%讀數
零(ling)點輸出飄(piao)移	±30		mV
輸出飄(piāo)移	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(diàn)源	8~18Vdc,50mA
輸出方(fang)式	線性，RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc
大(dà)流量壓損(sǔn)	350	300	pa
大工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作溫(wen)度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wen)度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰(bīng)、無凝露）
機(ji)械接口	可(kě)拆式軟管(guan)接頭
校準(zhǔn)方式	空氣(qi)（或其他氣(qì)體），20oC，101.325kPa
重量	15		g